Tehnologia de pulverizare cu magnetron (PVD) este una dintre tehnologiile cheie pentru prepararea materialelor cu film subțire. Materialele țintă de pulverizare cu titan de înaltă puritate-sunt consumabile cheie în procesul de pulverizare cu magnetron și au perspective largi de aplicare pe piață. Fiind un material de acoperire cu -valoare-înaltă, materialele țintă din titan au cerințe stricte în ceea ce privește puritatea chimică, microstructura și performanța și sunt foarte tehnice și dificil de procesat.
Materialele țintă de titan prin pulverizare cu magnetron sunt utilizate în principal în industriile electronice și informaționale, cum ar fi circuitele integrate, afișajele cu ecran plat și domeniile de acoperire decorativă în industria de decorațiuni interioare și auto, cum ar fi acoperirea decorativă din sticlă și acoperirea decorativă a butucului roții, așa cum se arată în Figura 1. Cerințele pentru materialele țintă de titan în diferite industrii, inclusiv performanța dimensională variază, de asemenea, puritatea și microstructura, în principal precizie. Puritatea materialelor țintă de titan pentru circuitele integrate este în principal peste 99,995%, iar în prezent, acestea se bazează în principal pe importuri. Pe piața materialelor țintă din titan utilizate în afișajele cu ecran plat, piața afișajelor cu cristale lichide (LCD) este cea mai mare, reprezentând mai mult de 90%. LCD este considerat cel mai promițător dispozitiv de afișare cu ecran plat în prezent. Apariția sa a extins foarte mult gama de aplicații a afișajelor, de la afișaje pentru computere notebook, monitoare pentru computere desktop, televizoare LCD de înaltă definiție până la comunicații mobile. Diverse produse LCD noi au impact asupra obiceiurilor de viață ale oamenilor și conduc dezvoltarea rapidă a industriei informaționale din lume.
Puritatea materialelor țintă din titan are un impact semnificativ asupra performanței filmelor pulverizate. Cu cât puritatea este mai mare, cu atât mai puține particule de impurități din pelicula de titan pulverizată, rezultând o performanță mai bună a filmului, inclusiv o rezistență mai bună la coroziune și proprietăți electrice și optice. În general, materialele țintă din titan au o structură policristalină, cu dimensiuni ale granulelor variind de la micrometri la milimetri. Materialele țintă cu granulație-fină au o rată de pulverizare mai rapidă decât cele cu granulație-grosară. Pentru ținte cu granule similare pe suprafața de pulverizare, distribuția grosimii filmului depus prin pulverizare este, de asemenea, mai uniformă.
